تحصيلات تکميلي

نام و نام خانوادگي : داود رئوفي

دانشكده : علوم

استاد راهنما : دکتر احمد کياست پور- دکتر حميدرضا فلاح

تاريخ دفاع : 8/11/86

رشته و گرايش : فيزيک-اتمي مولکولي

استاد مشاور : دکتر امير سيد حسن روضاتيان

بررسي نمايه سطح لايه هاي نازک رساناي شفاف

چكيده

کاتورگي در فرايندهاي انباشت منجر به ناهمواري سطح لايه مي شود، بنابراين توصيف دقيق پارامترهاي ناهمواري سطح از اهميت بسزايي برخوردار است. همچنين بسياري از خواص لايه هاي نازک، که اساس کاربرد آنها را در ابزارهاي فنّي تشکيل مي دهند، به خواص سطح آنها و بويژه به ناهمواري سطح بستگي دارد. از اينرو، سازوکاري که ساختار لايه را تعيين مي کند در طي سالهاي اخير موضوع اصلي پژوهشهاي فراواني بوده است.

لايه هاي نازک رساناي شفاف اکسيد اينديوم آلاييده با قلع (ITO) که در اين پايان نامه مورد تحقيق هستند به روش تبخير با پرتو الکتروني بر روي بستره شيشه اي در دماي اتاق تهيه شده اند. به منظور شفاف شدن لايه ها، آنها پس از انباشت در دماي اتاق، در دماهاي مختلف در گستره 450-200 ºC، در مجاورت هوا و به مدت يک ساعت حرارت دهي شده اند. ويژگيهاي سطح اين لايه ها بکمک روش ميکروسکوپ نيرو اتمي مورد بررسي قرار گرفته اند. تأثير عمليات حرارت دهي، در گسترة دمايي ياد شده، بر روي ساختار لايه ها و همچنين مورفولوژي سطح آنها بررسي شده است. نتايج ما نشان مي دهند که ساختار لايه ها و مورفولوژي سطح آنها هر دو به فرايند حرارت دهي حساس هستند. تحليل بَرخالي (فرکتالي) لايه ها نيز نشان داد که مقدار بعد برخالي Df، بسته به دماي بازپخت، در گستره 20/2-16/2 قرار دارد.

در ادامه با گسترش بس برخاليتي و صورت بندي آن، توپوگرافي سطح لايه هاي نازک ITO را با استفاده از داده هاي تصاوير ميکروسکوپ نيرو اتمي بررسي کرديم. تحليل بس برخالي نشان داد که پهناي بيناب Δα، را مي توان براي توصيف کمّي ناهمواري سطح لايه ها بکار برد. همچنين مشخص شد که شکل بيناب بس برخالي (f(α لايه هاي بازپخت ناشده و بازپخت شده به صورت قلاب خميده به چپ باقي مي ماند و بسته به دماي بازپخت در گستره 677/0-149/0 قرار مي گيرد.

واژه­هاي کليدي: رساناي شفاف، لايه نازک، نمايه سطح